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J-GLOBAL ID：200902165066734235   整理番号：00A0718339

ピエゾアクチュエータを用いたスマート構造による精密生産施設のアクティブ微振動制振

Active Microvibration Control of Precision Manufacturing Facilities with Smart Structure Using Piezoelectric Actuator.

著者 (8件)： 藤田隆史 (東大 生産技研) ,  榎本雅仁 (オムロン) ,  有壁剛生 (住友重機械工業) ,  小川智浩 (住友重機械工業) ,  村井信義 (竹中工務店) ,  橋本嘉之 (竹中工務店) ,  浜口弘樹 (竹中工務店) ,  梶原浩一 (日立プラント建設 松戸研)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 66  号： 647  ページ： 2122-2127  発行年： 2000年07月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在,半導体工場では半導体の高集積化・高性能化のため微振動が...

シソーラス用語： *振動制御 ,...
準シソーラス用語： ダンパ

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分類 (2件)： 電子工学一般  (NC01000A) ,  建築物の耐震,免震,制震,防振  (RB01035P)

引用文献 (2件)：

• 梶原浩一. 機論. 1997, 63-615, 3735-3742
• 鎌田崇義. 機論. 1996, 62-599, 2577-2584

タイトルに関連する用語 (5件)： ピエゾアクチュエータ ,  スマート構造 ,  施設 ,  微振動 ,  制振