ナノ複合物レジスト系

ISHII T; NOZAWA H; TAMAMURA T

文献

J-GLOBAL ID：200902165441451360 整理番号：97A0328777

ナノ複合物レジスト系

Nanocomposite resist system.

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巻： 70 号： 9 ページ： 1110-1112 発行年： 1997年03月03日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

サブnm炭素粒子をレジスト膜に入れてnmパターン作製に使える...

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固体デバイス製造技術一般

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