文献

J-GLOBAL ID：200902165647444963   整理番号：01A1019444

超臨界二酸化炭素からのコンフォーマル(共形)な銅とニッケルフィルムの沈着

Deposition of Conformal Copper and Nickel Films from Supercritical Carbon Dioxide.

著者 (4件)： BLACKBURN J M (Univ. Massachusetts, MA, USA) ,  LONG D P (Univ. Massachusetts, MA, USA) ,  CABANAS A (Univ. Massachusetts, MA, USA) ,  WATKINS J J (Univ. Massachusetts, MA, USA)
資料名： Science  (Science)
巻： 294  号： 5540  ページ： 141-145  発行年： 2001年10月05日 
JST資料番号： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超臨界二酸化炭素溶液中に溶解した有機金属化合物を水素により還...

シソーラス用語： *金属薄膜 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A1019444&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0078A") }}

分類 (1件)： 無電解めっき  (WC08024S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超臨界二酸化炭素 ,  形 ,  銅 ,  ニッケル ,  フィルム ,  沈着