FLEMISH J R について
U.S. Army Research Lab., New Jersey について
Rutgers Univ., New Jersey について
ZHAO J H について
Rutgers Univ., New Jersey について
Applied Physics Letters について
ECRプラズマ について
圧力依存性 について
プラズマ応用 について
固体デバイス製造技術一般 について
電子サイクロトロン共鳴プラズマ について
反応容器 について
6H-SiC について
単結晶 について
エッチング について