文献
J-GLOBAL ID：200902165895614549   整理番号：98A0950543

ガスジェット堆積法の薄膜圧電ミニチュアアクチュエータへの適用

Application of Gas Jet Deposition Method to Piezoelectric Thick Film Miniature Actuator.
著者 (4件)：
SCHROTH A

SCHROTH A について

(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)

Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN について

, 
MAEDA R

MAEDA R について

(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)

Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN について

, 
AKEDO J

AKEDO J について

(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)

Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN について

, 
ICHIKI M

ICHIKI M について

(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)

Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers について


巻： 37  号： 9B  ページ： 5342-5344  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
亜音速のガスジェット流でステンレス基板上にPZT超微粉を堆積...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
強誘電体

強誘電体 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*PZT【鉛化合物】

PZT【鉛化合物】 について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=98A0950543&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

,  圧電デバイス 
(NC03110I)

圧電デバイス について

引用文献 (2件)：
  • AKEDO, J. Proc. IEEE Workshop of MEMS '97. 1997, 135
  • OHTUKA, Y. Proc. IEEE Workshop of MEMS '95. 1995, 306
タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
ガスジェット

ガスジェット について

, 
堆積

堆積 について

, 
薄膜

薄膜 について

, 
圧電

圧電 について

, 
ミニチュア

ミニチュア について

, 
アクチュエータ

アクチュエータ について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM