ダスティーなAr/SiH<sub>4</sub>高周波放電における電子密度ゆらぎ

STOFFELS W W; STOFFELS E; KROESEN G M W; DE HOOG F J

文献

J-GLOBAL ID：200902165917879010 整理番号：95A0954258

ダスティーなAr/SiH₄高周波放電における電子密度ゆらぎ

Electron density fluctuations in a dusty Ar/SiH₄ rf discharge.

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巻： 78 号： 8 ページ： 4867-4872 発行年： 1995年10月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記ゆらぎをマイクロ波共鳴法を用いて調べた。プラズマ動作の最...

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プラズマ診断

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ダスティーなAr/SiH4高周波放電における電子密度ゆらぎ

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