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J-GLOBAL ID：200902166089033249   整理番号：99A0237720

原子の鋭さをもつ安定な電界放出電子源及び走査型プローブ顕微鏡センサとしての超尖鋭なシリコン及びダイヤモンド被覆シリコンチップのマイクロマシニングによる作製

Micromachined ultrasharp silicon and diamond-coated silicon tip as a stable field-emission electron source and a scanning probe microscopy sensor with atomic sharpness.

著者 (9件)： RANGELOW I W (Univ. Kassel, Kassel, DEU) ,  SHI F (Univ. Kassel, Kassel, DEU) ,  HUDEK P (Univ. Kassel, Kassel, DEU) ,  VOLLAND B (Univ. Kassel, Kassel, DEU) ,  GIVARGIZOV E I (Russian Acad. Sci., Moscow, RUS) ,  STEPANOVA A N (Russian Acad. Sci., Moscow, RUS) ,  OBOLENSKAYA L N (Russian Acad. Sci., Moscow, RUS) ,  MASHKOVA E S (Moscow State Univ., Moscow, RUS) ,  MOLCHANOV V A (Moscow State Univ., Moscow, RUS)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 16  号： 6  ページ： 3185-3191  発行年： 1998年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Siマイクロマシニングと(111)Si基板上のSiホイスカの...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...

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分類 (2件)： 電子源,イオン源  (BD02020U) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 原子 ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  シリコン ,  ダイヤモンド被覆 ,  シリコンチップ ,  マイクロマシニング ,  作製