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J-GLOBAL ID：200902166147405984   整理番号：02A0041516

UBMスパッタ法で作成したDLC積層膜の摺動特性

著者 (2件)： 岩村栄治 (神戸製鋼所 材料研) ,  赤理孝一郎 (神戸製鋼所)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集  (Proceedings of JAST Tribology Conference)
巻： 2001-11  ページ： 151-152  発行年： 2001年10月14日 
JST資料番号： Y0047B  ISSN： 0919-6005  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (5件)： UBM ,  スパッタ法 ,  DLC ,  積層膜 ,  摺動特性