Electrostatic Micro Torsion Mirrors for an Optical Switch Matrix.

文献

J-GLOBAL ID：200902166187275242 整理番号：97A0203042

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巻： 5 号： 4 ページ： 231-237 発行年： 1996年12月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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