文献
J-GLOBAL ID:200902166208000435   整理番号:93A0596468

DCマグネトロンスパッタにより作製したa-Si:Hおよびa-Si1-xCx:Hの微細構造特性

Microstructural properties of DC magnetron sputtered a-Si:H and a-Si1-xCx:H.
著者 (5件):
資料名:
巻: 70/71  号: Pt B  ページ: 686-690  発行年: 1993年06月 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
水素(5~30at%)および炭素(0~20at%)濃度をパラ...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
,...
準シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

   続きはJDreamIII(有料)にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0596468&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0707B") }}
分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
半導体薄膜  ,  非晶質半導体の構造 

前のページに戻る