電子ビーム蒸発によるボロン膜の酸素排気実験

文献

J-GLOBAL ID：200902166451386120 整理番号：93A0501315

Measurement of Pumping Speed of Oxygen on B film with E-B evaporation.

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資料名：
巻： 10th ページ： 152 発行年： 1993年03月
JST資料番号： Y0877A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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