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J-GLOBAL ID：200902166562927040   整理番号：97A0400481

クラスタイオン衝突による損傷形成の分子動力学シミュレーション

Molecular dynamics simulation of damage formation by cluster ion impact.

著者 (4件)： AOKI T (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  MATSUO J (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  INSEPOV Z (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  YAMADA I (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 121  号： 1/4  ページ： 49-52  発行年： 1997年01月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si(100)固体表面にArクラスタが衝突すると,クラスタと...

シソーラス用語： はじき出し損傷 ,...

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分類 (1件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E)

タイトルに関連する用語 (4件)： クラスタ ,  イオン衝突 ,  損傷 ,  分子動力学シミュレーション