透過型電子顕微鏡による(0001)サファイヤ上のエピタクシャルZnO膜の欠陥構造の観察

LIM S-H; SHINDO D; KANG H-B; NAKAMURA K

文献

J-GLOBAL ID：200902166659030133 整理番号：01A0489786

透過型電子顕微鏡による(0001)サファイヤ上のエピタクシャルZnO膜の欠陥構造の観察

Defect structure of epitaxial ZnO films on (0001) sapphire studied by transmission electron microscopy.

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資料名：
巻： 19 号： 2 ページ： 506-510 発行年： 2001年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

(0001)c面サファイヤ上にECR支援MBEにより成長させ...

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酸化物薄膜 , 半導体の格子欠陥

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