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J-GLOBAL ID:200902166743358365   整理番号:01A0528055

TMAH溶液によりエッチングした単結晶シリコンの表面粗さ

Surface roughness of single-crystal silicon etched by TMAH solution.
著者 (4件):
資料名:
巻: A90  号:ページ: 223-231  発行年: 2001年05月20日 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)溶液は,新しいタイ...
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