シリコン(001)基板上のエピタキシャルダイヤモンド薄膜

JIANG X; KLAGES C-P; ZACHAI R; HARTWEG M; FUESSER H-J

文献

J-GLOBAL ID：200902166889617770 整理番号：93A0660233

シリコン(001)基板上のエピタキシャルダイヤモンド薄膜

Epitaxial diamond thin films on (001) silicon substrates.

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資料名：
巻： 62 号： 26 ページ： 3438-3440 発行年： 1993年06月28日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

メタンと水素の混合気体を用いたマイクロ波プラズマ化学気相蒸着...

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半導体薄膜

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