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J-GLOBAL ID:200902167066368975   整理番号:93A0554271

小型自走機械群による超精密生産機械システム 第1報 自走機械の設計と試作

An Ultra Precision Production System Organized by Miniature Robots. 1st Report. Design and Fabrication of a Piezo-Magnetic Mini-Walker.
著者 (5件):
資料名:
巻: 59  号:ページ: 1007-1012  発行年: 1993年06月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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形状精密機械加工・測定機等の代表的形態の一つに工具・プローブ...
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分類 (1件):
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ロボットの設計・製造・構造要素 
引用文献 (9件):
  • 1) K. Lindsey, S. T. Smith and C. J. Robbie : Sub-Nanometer Surface Texture and Profile Measurement with NANOSURF 2, Ann. CIRP, 37, (1988) 519.
  • 2) 松本秀樹, 山口城治, 青山尚之, 下河辺明 : 超高精度直線運動機構 (第2報) -5自由度の制御, 54, 10 (1988) 1945.
  • 3) K. Busch, H. Kunzmann and F. Wawldele : Numerical Error-Correction of a Coordinate Measuring Machine, Proc. Int. Symp. on Metrology for Quality Control in Production, Tokyo, (1984) 278.
  • 4) E. C. Teague : The NIST Molecular Measuring Machine Project : Metrology and Precision Engineering Design, J. Vac. Sci. Technol., B 7 (6), Nov/Dec (1989) 1898.
  • 5) D. W. Pohl : Some Design Criteria in Scanning Tunneling Microscopy, IBM J. Res. Develop., 30, 4, (1986) 417.
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