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J-GLOBAL ID：200902167317398496   整理番号：99A0512454

マイクロ波プラズマ化学気相合成法による薄膜型固体電解質燃料電池の特性

Properties of SOFC Having MSZ Electrolyte Thin Film Grown by PECVD.

著者 (4件)： 辰知明 (大阪工大 工) ,  長田昭義 (大阪工大 工) ,  岡山英夫 (大阪工大 工) ,  伊佐弘 (大阪工大 工)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 42  号： 3  ページ： 155-158  発行年： 1999年03月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマCVDにより成長させた固体酸化物燃料電池用のマグネシ...

シソーラス用語： *固体電解質燃料電池 ,...
準シソーラス用語： MSZ【セラミック】

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分類 (2件)： 燃料電池  (YB04040V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (2件)：

• 長田. 真空. 1998, 41, 3, 186-189
• 長田. 真空ジャーナル. 1998, 60, 8-13

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロ波プラズマ ,  化学 ,  気相合成法 ,  薄膜 ,  固体電解質燃料電池