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J-GLOBAL ID：200902167500956635   整理番号：98A0957373

銅の化学蒸着前駆体としての銅(I)tert-ブチル3-オキソブタン酸エステル錯体

Copper(I) tert-Butyl 3-Oxobutanoate Complexes as Precursors for Chemical Vapor Deposition of Copper.

著者 (2件)： CHOI H (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, Illinois) ,  HWANG S (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, Illinois)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 10  号： 9  ページ： 2326-2328  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 銅(I)錯体,(btac)CuL(btac=tert-ブチル...

シソーラス用語： *銅錯体 ,...

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分類 (2件)： 第11族,第12族元素の錯体  (CE01050Y) ,  金属薄膜  (BK14030T)

物質索引 (8件)： 3-オキソ酪酸tert-ブチル ,  トリメチルビニルシラン ,  1,2-ビス(トリメチルシリル)アセチレン ,  1,5-シクロオクタジエン ,  1,5-ジメチル-1,5-シクロオクタジエン ,  2-ブチン ,  1-(トリメチルシリル)-1-プロピン ,  亜りん酸トリメチル

タイトルに関連する用語 (7件)： 銅 ,  化学蒸着 ,  前駆体 ,  TERT ,  3-オキソブタン酸 ,  エステル ,  錯体