管状反応炉とFourier変換赤外分光法を用いたジメチル水素化アルミニウムからのアルミニウムの化学蒸着の反応分析  理論的プロセス最適化手法 I

SUGIYAMA M; ITOH H; AOYAMA J; KOMIYAMA H; SHIMOGAKI Y

文献

J-GLOBAL ID：200902167850278273 整理番号：00A0382681

管状反応炉とFourier変換赤外分光法を用いたジメチル水素化アルミニウムからのアルミニウムの化学蒸着の反応分析理論的プロセス最適化手法 I

Reaction Analysis of Aluminum Chemical Vapor Deposition from Dimethyl-aluminum-hydride Using Tabular Reactor and Fourier-Taansform Infrared Spectroscopy. Theoretical Process Optimization Procedure. (1).

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=00A0382681&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0382681&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 39 号： 3A ページ： 1074-1079 発行年： 2000年03月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

ジメチル水素化アルミニウム(DMAH)用いたAlのCVD過程...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0382681&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

金属薄膜

引用文献 (15件)：

1) H. Komiyama, Y. Shimogaki and Y. Egashira: Chem. Eng. Sci. 54 (1999) 1941.
2) B. G. Wills and K. F. Jensen: Proc. Advanced Metalization and Interconnect Systems for ULSI Applications 1996 (Material Research Society, Pittsburgh, 1996) p. 29.
3) Y. Matsumiya and K. Nakajima: J. Cryst. Growth 181 (1997) 437.
4) D. R. Strongin and P. B. Comita: J. Phys. Chem. 95 (1991) 1329.
5) T. Wadayama, Y. Maiwa, H. Shibata and A. Hatta: Appl. Surf. Sci. 100/101 (1996) 575.

, , , , , , , ,

前のページに戻る

管状反応炉とFourier変換赤外分光法を用いたジメチル水素化アルミニウムからのアルミニウムの化学蒸着の反応分析 理論的プロセス最適化手法 I

管状反応炉とFourier変換赤外分光法を用いたジメチル水素化アルミニウムからのアルミニウムの化学蒸着の反応分析理論的プロセス最適化手法 I