ホモエピタクシー用のHVPE GaN及びAlGaN“基板”

MELNIK YU; NIKOLAEV A; STEPANOV S; KIKITINA I; VASSILEVSKI K; ANKUDINOV A; MUSIKHIN YU; DMITRIEV V

文献

J-GLOBAL ID：200902167899613361 整理番号：98A0441356

ホモエピタクシー用のHVPE GaN及びAlGaN“基板”

HVPE GaN and AlGaN “Substrates” for Homoepitaxy.

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資料名：
巻： 264/268 号： Pt.2 ページ： 1121-1124 発行年： 1998年
JST資料番号： D0716B ISSN： 0255-5476 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：スイス (CHE) 言語：英語 (EN)

GaN,AlN及びAlGaN水素化物気相エピタクシー(HVP...

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半導体薄膜

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