等価酸化膜厚が5Åの高品質La<sub>2</sub>O<sub>3</sub>ゲート誘電体の電気特性

WU Y H; YANG M Y; CHIN A; CHEN W J; KWEI C M

文献

J-GLOBAL ID：200902167998654584 整理番号：01A0001625

等価酸化膜厚が5Åの高品質La₂O₃ゲート誘電体の電気特性

Electrical Characteristics of High Quality La₂O₃ Gate Dielectric with Equivalent Oxide Thickness of 5Å.

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巻： 21 号： 7 ページ： 341-343 発行年： 2000年07月
JST資料番号： B0344B ISSN： 0741-3106 CODEN： EDLEDZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

超薄La₂O₃ゲ...

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固体デバイス材料

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等価酸化膜厚が5Åの高品質La2O3ゲート誘電体の電気特性

等価酸化膜厚が5Åの高品質La₂O₃ゲート誘電体の電気特性