文献

J-GLOBAL ID：200902168288733112   整理番号：95A0757800

AFMによる原子スケール加工法の研究

A Study of Atomic Scale Processing using an Atomic Force Microscope.

著者 (1件)： 左光大和
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61  号： 8  ページ： 1121-1125  発行年： 1995年08月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ICの高集積化に伴いデバイス面の粗さはより平滑なものが求めら...

シソーラス用語： 微細加工 ,...
準シソーラス用語： 黒鉛

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分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• OHMI, T. Dependence of Thin-Oxide Films Quality on Surface Microroughness. IEEE Trans. Electron Devices. 1992, 39,3
• BINNIG, G. Atomic Force Microscope. Phys. Rev. Lett. 1986, 56, 930
• 浜田恵美子. ポリカ-ボネ-トのアブレシブ摩耗過程. トライボロジスト. 1993, 38,1, 62
• BINNIG, G. 7×7Reconstruction on Si (111) Resolved in Real Space. Phys. Rev. Lett. 1983, 50, 120
• MAMIN, H. J. Atomic Emission from a Gold Scanning-Tunneling-Microscope Tip. Phys. Rev. Lett. 1990, 65, 2418

タイトルに関連する用語 (3件)： AFM ,  原子スケール ,  研究