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J-GLOBAL ID:200902168288733112   整理番号:95A0757800

AFMによる原子スケール加工法の研究

A Study of Atomic Scale Processing using an Atomic Force Microscope.
著者 (1件):
資料名:
巻: 61  号:ページ: 1121-1125  発行年: 1995年08月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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ICの高集積化に伴いデバイス面の粗さはより平滑なものが求めら...
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準シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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研削  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
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