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J-GLOBAL ID：200902168344599980   整理番号：97A0924926

ダイオード絶縁型の,バルク微細加工による,くし歯形シリコン静電アクチュエータ

Bulk micromachined silicon comb-drive electrostatic actuators with diode isolation.
著者 (3件)：
SYMS R R A

SYMS R R A について

(Imperial Coll., London)

Imperial Coll., London について

, 
HARDCASTLE B M

HARDCASTLE B M について

(Imperial Coll., London)

Imperial Coll., London について

, 
LAWES R A

LAWES R A について

(Rutherford Appleton Lab., Oxon, GBR)

Rutherford Appleton Lab., Oxon, GBR について


資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

Sensors and Actuators. A. Physical について


巻： A63  号： 1  ページ： 61-67  発行年： 1997年09月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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くし歯形静電アクチュエータにつき,従来より単純化したバルク微...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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センサ

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分類
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(AD02000X)

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絶縁

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バルク

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微細加工

微細加工 について

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くし歯

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シリコン

シリコン について

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静電アクチュエータ

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