文献

J-GLOBAL ID：200902168357479100   整理番号：00A0300154

電子サイクロトロン共鳴プラズマにおける基板の前のシース電場分布のレーザ誘起蛍光法による直接測定

Direct Measurement of Sheath Electric Field Distribution in Front of Substrate in Electron Cyclotron Resonance Plasma by Laser-Induced Fluorescence Technique.

著者 (3件)： WATANABE M (Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  TAKIYAMA K (Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  ODA T (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 39  号： 2A  ページ： L116-L118  発行年： 2000年02月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 磁場中の電子サイクロトロン共鳴プラズマ流において,基板の前の...

シソーラス用語： ECRプラズマ ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0300154&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0599B") }}

分類 (2件)： 固体-プラズマ相互作用  (BJ02033W) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (7件)：

• 1) T. Oda and K. Takiyama: Proc. 7th Int. Symp. Laser-Aided Plasma Diagnostics, Fukuoka, Japan, 1995, p. 227.
• 2) H. Sakai, K. Takiyama, M. Kimura, M. Yamasaki, T. Oda and K. Kawasaki: J. Nucl. Mater. 196–198 (1992) 1135.
• 3) M. D. Bowden, Y. W. Choi and K. Muraoka: Appl. Phys. Lett. 66 (1995) 1059.
• 4) M. Watanabe, K. Takiyama and T. Oda: Rev. Sci. Instrum. 70 (1999) 903.
• 5) H. Tae, S. Hwang, S. Park, E. Yoon and K. Whang: J. Appl. Phys. 78 (1995) 4112.

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子サイクロトロン共鳴プラズマ ,  シース ,  電場分布 ,  レーザ誘起蛍光法 ,  直接測定