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J-GLOBAL ID：200902168426653834   整理番号：97A0635323

炭素及び窒素を注入したSi(100)のトライボロジー特性

Tribological properties of carbon- and nitrogen-implanted Si(100).

著者 (8件)： KODALI P (Los Alamos National Lab., NM, USA) ,  HAWLEY M (Los Alamos National Lab., NM, USA) ,  WALTER K C (Los Alamos National Lab., NM, USA) ,  HUBBARD K (Los Alamos National Lab., NM, USA) ,  YU N (Los Alamos National Lab., NM, USA) ,  TESMER J R (Los Alamos National Lab., NM, USA) ,  LEVINE T E (Los Alamos National Lab., NM, USA) ,  NASTASI M (Los Alamos National Lab., NM, USA)
資料名： Wear  (Wear)
巻： 205  号： 1/2  ページ： 144-152  発行年： 1997年04月 
JST資料番号： E0377A  ISSN： 0043-1648  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： けい素のトライボロジー特性値は将来のマイクロマシン用として重...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 炭素 ,  窒素 ,  注入 ,  Si ,  トライボロジー特性