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J-GLOBAL ID：200902168487318183   整理番号：02A0944594

高周波で用いる(CoFeB)_x-(SiO_1.9)_1-x膜およびCoFeB膜の磁気特性および周波数特性

Magnetic properties and frequency characteristics of (CoFeB)_X-(SiO_1.9)_1-x and CoFeB films for RF application.

著者 (7件)： MUNAKATA M (Sojo Univ., Kumamoto) ,  NAMIKAWA M (Sojo Univ., Kumamoto) ,  MOTOYAMA M (Delta Works, Kumamoto) ,  YAGI M (Sojo Univ., Kumamoto) ,  SHIMADA Y (Tohoku Univ., Sendai) ,  YAMAGUCHI M (Tohoku Univ., Sendai) ,  ARAI K (Tohoku Univ., Sendai)
資料名： 日本応用磁気学会誌  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
巻： 26  号： 12 付録  ページ： 388-393  発行年： 2002年12月01日 
JST資料番号： Z0944A  ISSN： 0285-0192  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 円筒状電極の回転する同期3重高周波マグネトロンスパッタリング...

シソーラス用語： *磁性合金 ,...

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分類 (1件)： 磁性材料  (NA04040H)

引用文献 (13件)：

• KIM, T. S. IEEE Trans. Magn. 2001, 37, 2255
• MUNAKATA, M. IEEE Trans. Magn. 2001, 37, 2258
• OHNUMA, S. IEEE. Trans. Mag. 2001, 37, 2251
• SUEZAWA, K. J. Magn. Soc. Jpn. 1999, 23, 1649
• LI, W. D. J. Magn. Soc. Jpn. 1998, 22, 449

タイトルに関連する用語 (3件)： 高周波 ,  磁気特性 ,  周波数特性