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J-GLOBAL ID:200902168756205820   整理番号:94A0113611

HRTEM investigation of microdefects in FZ-silicon crystal grown at high rate.

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資料名:
号: 134  ページ: 107-110  発行年: 1993年 
JST資料番号: E0403B  ISSN: 0305-2346  CODEN: IPHSAC  資料種別: 会議録 (C)
発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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