大気圧CVDによるZnO膜のヘテロエピタキシー

文献

J-GLOBAL ID：200902169232852808 整理番号：98A0581394

Epitaxial growth of zinc oxide films by atmospheric chemical vapor deposition.

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資料名：
巻： 1998 ページ： 497 発行年： 1998年03月
JST資料番号： X0505A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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