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J-GLOBAL ID：200902169397040085   整理番号：01A0899806

荷電ビームを応用する加工と計測 電子ビームによるLSIテスティング

著者 (2件)： 藤岡弘 (大阪大 大学院工学研究科) ,  中前幸治 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 67  号： 9  ページ： 1407-1411  発行年： 2001年09月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： LSIは出荷されるまでの各製造工程において様々なテストが実施...

シソーラス用語： *LSI【IC】 ,...
準シソーラス用語： 点滅光源 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

引用文献 (15件)：

• 裏克己. ビームテスティング. 電子・イオンビームハンドブック. 1998, 24
• 藤岡弘. 発展史と展望-LSI観察・評価装置. 電子顕微鏡. 2000, 35, 1, 41
• 裏克己. 電子ビームテスティングハンドブック. 学振第132委員会第98回研究会資料. 1987
• URA, K. Electron Beam Testing. Advnces in Electronics and Electron Physics. 1989, 73, 233
• OATLEY, C. W. The examination of p-n junction with the scanning electron microscope. J. Electronics. 1957, 2, 568

タイトルに関連する用語 (5件)： 荷電ビーム ,  応用 ,  計測 ,  電子ビーム ,  LSI