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J-GLOBAL ID：200902169440312914   整理番号：93A0631347

Piezoelectrically Operated Actuators by Quartz Micromachining for Optical Application.

著者 (4件)：
TOSHIYOSHI H

TOSHIYOSHI H について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について

, 
FUJITA H

FUJITA H について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について

, 
KAWAI T

KAWAI T について

(Yokogawa Electric Corp., Tokyo, JPN)

Yokogawa Electric Corp., Tokyo, JPN について

, 
UEDA T

UEDA T について

(Yokogawa Electric Corp., Tokyo, JPN)

Yokogawa Electric Corp., Tokyo, JPN について


資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)

Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems について


巻： 6th  ページ： 133-138  発行年： 1993年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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