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J-GLOBAL ID：200902169506659120   整理番号：02A0383207

モンテカルロ直接法によるクラスター堆積膜モフォロジー

著者 (3件)： 本郷研太 (東北大 金材研) ,  水関博志 (東北大 金材研) ,  川添良幸 (東北大 金材研)
資料名： 日本金属学会講演概要  (Collected Abstracts of the Meeting of the Japan Institute Metals)
巻： 130th  ページ： 231  発行年： 2002年03月28日 
JST資料番号： S0988A  ISSN： 1342-5730  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 形態 ,...

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分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (4件)： モンテカルロ ,  クラスター ,  堆積 ,  モフォロジー