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J-GLOBAL ID：200902169836393933   整理番号：96A0333370

TiN薄膜の成長と機械的異方性

Growth and mechanical anisotropy of TiN thin films.
著者 (2件)：
MENG W J

MENG W J について

(General Motors Res . and Dev. Center, MI, USA)

General Motors Res . and Dev. Center, MI, USA について

, 
EESLEY G L

EESLEY G L について

(General Motors Res . and Dev. Center, MI, USA)

General Motors Res . and Dev. Center, MI, USA について


資料名：
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

Thin Solid Films について


巻： 271  号： 1/2  ページ： 108-116  発行年： 1995年12月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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超高真空マグネトロンスパッタでSi(100),(111)基板...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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マグネトロンスパッタリング

マグネトロンスパッタリング について

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分類 (2件)：
分類
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その他の無機化合物の薄膜 
(BK14060A)

その他の無機化合物の薄膜 について

,  固体の音波物性一般 
(BL02031U)

固体の音波物性一般 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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TiN薄膜

TiN薄膜 について

, 
成長

成長 について

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異方性

異方性 について


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