デュアルビーム法を用いた最適化,飛行時間二次イオン質量分析による深さプロフィリング

ILTGEN K; BENDEL C; BENNINGHOVEN A; NIEHUIS E

文献

J-GLOBAL ID：200902169926511218 整理番号：97A0742789

デュアルビーム法を用いた最適化,飛行時間二次イオン質量分析による深さプロフィリング

Optimized time-of-flight secondary ion mass spectroscopy depth profiling with a dual beam technique.

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資料名：
巻： 15 号： 3 Pt 1 ページ： 460-464 発行年： 1997年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

スパッタリング(クレータ形成)用とSIMS分析用の2個のイオ...

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質量分析

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