真空シールを用いたディスク形バルク微細加工ジャイロスコープ

FUJITA T; MAENAKA K; MIZUNO T; MATSUOKA T; KOJIMA T; OSHIMA T; MAEDA M

文献

J-GLOBAL ID：200902170360163924 整理番号：00A0663999

真空シールを用いたディスク形バルク微細加工ジャイロスコープ

Disk-shaped bulk micromachined gyroscope with vacuum sealing.

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資料名：
巻： A82 号： 1/3 ページ： 198-204 発行年： 2000年05月15日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ジャイロスコープはビデオカメラや自動車の車体制御などの応用分...

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時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器

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