シンクロトロン放射リソグラフィーで実現した微細PZTロッドの圧電複合材

文献

J-GLOBAL ID：200902170579965082 整理番号：98A0766959

Piezocomposite of Fine PZT Rods Realized with Synchrotron Radiation Lithography.

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資料名：
巻： 1997 号： Vol.2 ページ： 877-881 発行年： 1997年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高周波広帯域超音波変換器に適する1-3圧電複合材に対して,セ...

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音響の励起・発生 , 固体デバイス製造技術一般

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