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J-GLOBAL ID：200902170742815085   整理番号：97A0014628

低g応用向けの集積化力平衡形静電容量式加速度計

An integrated force-balanced capacitive accelerometer for low-g applications.

著者 (6件)： CHAU K H-L (Analog Devices, Inc., MA, USA) ,  LEWIS S R (Analog Devices, Inc., MA, USA) ,  ZHAO Y (Analog Devices, Inc., MA, USA) ,  HOWE R T (Univ. California, CA, USA) ,  BART S F (Analog Devices, Inc., MA, USA) ,  MARCHESELLI R G (Analog Devices, Inc., MA, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 54  号： 1/3  ページ： 472-476  発行年： 1996年06月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単一チップ上にバイポーラ/MOSインタフェイス回路による表面...

シソーラス用語： 加速度計 ,...
準シソーラス用語： モノリシック集積回路

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分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 応用 ,  集積化 ,  静電容量 ,  加速度計