ミクロ構造を操作し最適化するSi膜の制御したスーパーラテラル成長

IM J S; CROWDER M A; SPOSILI R S; LEONARD J P; KIM H J; YOON J H; GUPTA V V; SONG H J; CHO H S

文献

J-GLOBAL ID：200902170942009750 整理番号：98A0913422

ミクロ構造を操作し最適化するSi膜の制御したスーパーラテラル成長

Controlled Super-Lateral Growth of Si Films for Microstructural Manipulation and Optimization.

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資料名：
巻： 166 号： 2 ページ： 603-617 発行年： 1998年04月16日
JST資料番号： D0774A ISSN： 0031-8965 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

制御したスーパーラテラル成長(C-SLG)と呼ぶパルスレーザ...

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半導体薄膜

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