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J-GLOBAL ID：200902170977486941   整理番号：00A0185549

A Novel Approach for Integrated Passive Device Fabrication.

著者 (7件)： SYKORA G (Ohmite Manufacturing, Il.) ,  PABICH R (Ohmite Manufacturing, Il.) ,  O’SHEA J (Ohmite Manufacturing, Il.) ,  GLEASON L (Ohmite Manufacturing, Il.) ,  SABO C (Heraeus Inc., PA) ,  WOOD J (Heraeus Inc., PA) ,  BARNWELL P (Heraeus Inc., PA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3906  ページ： 505-509  発行年： 1999年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)