容量結合型高周波放電の陰極構造依存性

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J-GLOBAL ID：200902171093886578 整理番号：01A0554580

Effects of Cathode Structures on Capacitive Coupling Plasma.

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巻： 44 号： 3 ページ： 264-267 発行年： 2001年03月20日
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

容量結合型RF放電に及ぼす陰極周辺の構造の影響を非対称平行板...

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プラズマ装置

引用文献 (9件)：

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