ポリシリコンTFTに対するオゾン酸化の効果

文献

J-GLOBAL ID：200902171295756560 整理番号：04A0074581

Effects of Ozone Oxidation for Poly-Si TFTs.

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資料名：
巻： 9th ページ： 271-274 発行年： 2002年
JST資料番号： L4269A ISSN： 1883-2490 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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固体デバイス製造技術一般 , トランジスタ

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