ガス流量計用のポリシリコン流量センサ

文献

J-GLOBAL ID：200902171784961363 整理番号：97A0014656

A polysilicon flow sensor for gas flow meters.

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巻： 54 号： 1/3 ページ： 626-631 発行年： 1996年06月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ポリシリコンの微小ヒータを用いた一電線型の熱式流量センサを開...

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流体の実験・試験・測定方法及び装置

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