誘導結合気体放電における電場

PIEJAK R; GODYAK V; ALEXANDROVICH B

文献

J-GLOBAL ID：200902171928944256 整理番号：01A0542593

誘導結合気体放電における電場

Electric field in inductively coupled gas discharges.

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巻： 89 号： 7 ページ： 3590-3593 発行年： 2001年04月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

放電電流一定下での放電電圧測定から,低圧無極放電における電場...

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プラズマ診断 , 気体放電

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