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J-GLOBAL ID：200902172010261055   整理番号：93A0838535

気相合成ダイヤモンド薄膜の基板界面に生じる面心立方構造炭素

Face-Centered Cubic Carbon Formed at Substrate CVD Diamond Film Interface.

著者 (5件)： 川村良雄 (大阪大 工) ,  佐分利敏雄 (大阪大 工) ,  矢敷哲男 (住友電気工業) ,  中井哲男 (住友電気工業) ,  矢津修示 (住友電気工業)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 57  号： 9  ページ： 975-982  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MoとSi基板上に化学蒸着法で合成したダイヤモンド薄膜の構造...

シソーラス用語： モリブデン ,...
準シソーラス用語： 面心立方構造炭素 ,...

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分類 (2件)： 薄膜一般  (BK14010X) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 気相合成 ,  ダイヤモンド薄膜 ,  界面 ,  面心立方構造 ,  炭素