DANILIN A B について
Inst. Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Moscow District, SUN について
MALININ A A について
Inst. Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Moscow District, SUN について
MORDKOVICH V N について
Inst. Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Moscow District, SUN について
SARAIKIN V V について
Inst. Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Moscow District, SUN について
VYLETALINA O I について
Inst. Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Moscow District, SUN について
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について
重イオン照射 について
半導体の放射線による構造と物性の変化 について
けい素 について
二酸化けい素 について
包有物 について
埋設 について
イオンビーム について
局在化 について