局所的機械応力制御(LMC)  CMOS性能強化のための新技術

文献

J-GLOBAL ID：200902172472277194 整理番号：02A0200695

Local Mechanical-Stress Control(LMC): A New Technique for CMOS-Performance Enhancement.

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著者 (8件)：

SHIMIZU A

SHIMIZU A について

(Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN)

Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN について

HACHIMINE K

HACHIMINE K について

(Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN)

Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN について

OHKI N

OHKI N について

(Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN)

Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN について

OHTA H

OHTA H について

(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)