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J-GLOBAL ID:200902172747029501   整理番号:96A0481519

25nm分解能をもつ転写リソグラフィー

Imprint Lithography with 25-Nanometer Resolution.
著者 (3件):
資料名:
巻: 272  号: 5258  ページ: 85-87  発行年: 1996年04月05日 
JST資料番号: E0078A  ISSN: 0036-8075  CODEN: SCIEA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分解能25nmでしかも平坦な垂直側壁をつくる,高い処理能力を...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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準シソーラス用語:
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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