光スイッチングのための高アスペクト比Si垂直マイクロミラーアレイ

JUAN W-H; PANG S W

文献

J-GLOBAL ID：200902172892236701 整理番号：98A0608021

光スイッチングのための高アスペクト比Si垂直マイクロミラーアレイ

High-Aspect-Ratio Si Vertical Micromirror Arrays for Optical Switching.

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資料名：
巻： 7 号： 2 ページ： 207-213 発行年： 1998年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高さ50μmの標記ミラーのマイクロマシン技術による製作法およ...

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その他の光伝送素子 , 固体デバイス製造技術一般

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