KUKLI K について
Univ. Helsinki, FIN について
RITALA M について
Univ. Helsinki, FIN について
LESKELAE M について
Univ. Helsinki, FIN について
Chemistry of Materials について
酸化タンタル について
酸化物薄膜 について
ペンタエトキシタンタル(V) について
タンタル について
エトキシド について
塩化タンタル について
逐次 について
パルス について
注入 について
酸化タンタル について
原子層蒸着 について
化学 について
気相蒸着 について