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J-GLOBAL ID：200902173376363370   整理番号：02A0909711

DLCダイヤモンド膜 最近のDLC膜・ダイヤモンド膜の製作技術およびそれら被膜の諸特性

著者 (1件)： 田中章浩 (産業技術総合研 新炭素系材料開研セ)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 47  号： 11  ページ： 802-808  発行年： 2002年11月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜などの硬質炭素系...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  潤滑一般  (QB02010S)

引用文献 (14件)：

• 池永勝. 超硬質皮膜の原理と工業的応用. 2000, 39
• 岩村栄治. UBMスパッタ法で作製したDLC積層膜の摺動特性. トライボロジー会議予稿集, 宇都宮. 2001, 151
• 花栗孝次. 表面改質技術の新展開. 2002, 31
• YAMAMOTO, K. The sp^3 bond fraction in carbon films prepared by mass-separated ion beam deposition. Diamond and Related Materials. 2001, 10, 895
• YAMAMOTO, K. Tribological properties of diamond-like carbon films prepared by mass-separated ion beam deposition. Diamond and Related Materials

タイトルに関連する用語 (5件)： DLC ,  ダイヤモンド膜 ,  DLC膜 ,  製作 ,  被膜