熱電的に制御するバイモルフ片持ち梁後方の流体作動膜付き微細加工弁

文献

J-GLOBAL ID：200902173700373383 整理番号：94A0091497

Micromachined valve with hydraulically actuated membrane subsequent to a thermoelectrically controlled bimorph cantilever.

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資料名：
巻： 39 号： 2 ページ： 169-176 発行年： 1993年11月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

バイモルフ板の片持ち梁に沿うジェット流れを,電気加熱でバイモ...

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流体式制御機器

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